论文编号:
第一作者所在部门:
论文题目: 低温沉积SiO2薄膜工艺研究
论文题目英文:
作者: 李璟文
论文出处:
刊物名称: 真空与低温
: 2013
: 19
: 3
: 168-171
联系作者: 李璟文
收录类别:
影响因子:
摘要:
英文摘要:
外单位作者单位:
备注: